無油真空泵是一種無需任何油作潤滑既能運轉工作的機械真空泵。它具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。

無油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室最常備的設備之一。

真空泵油：

1：起到工作介質的作用：泵的工作原理是先由轉動真空泵把系統抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結,待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空。

2:排氣閥用泵油密封，可以防止大氣經排氣閥返入泵內，保證排氣閥關閉時有良好的氣密性。

3:泵油通過油路、排氣閥及裝配間隙滲入泵膠，對泵的各個運動部件，如轉子、旋片、軸承和軸封以及摩擦面等起潤滑、密封和冷卻作用。

4:泵油能充填有害空間，減少其中的高壓殘余氣體，從而大大減少有害空間對極限真空的影響。

5:當真空度較高時，進入吸氣空間的氣體量很少，經壓縮后的氣體壓強仍推不開排氣閥片。此時，可 借助于泵油將排氣閥片強行推開，使被抽氣體能順利地排出。

6:在導熱油泵使用的過程中,由于真空泵油直接進入泵體內腔，在真空泵運行時， 隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分 就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可向真空系統返流 擴散，污染真空系統，并直接影響極限真空的獲得。

從以上幾點可以看出，真空泵油在泵體內擔負著潤滑、密封、和冷卻的作用。