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掃描電子顯微技術SEM應用原理

更新時間：2018-09-11 點擊次數：2767

掃描電子顯微技術SEM


分析原理：用電子技術檢測高能電子束與樣品作用時產生二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線等并放大成象


譜圖的表示方法：背散射象、二次電子象、吸收電流象、元素的線分布和面分布等


提供的信息：斷口形貌、表面顯微結構、薄膜內部的顯微結構、微區元素分析與定量元素分析等

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